我們提供高純/特氣工程等綜合的氣路系統(tǒng)解決方案,包括氣源及供氣系統(tǒng)工程、切換裝置、管道系統(tǒng)、調(diào)壓裝置、用氣點、氣體泄露監(jiān)測報警系統(tǒng)等氣路一站式系統(tǒng)解決方案。
先導(dǎo)科技集團依托近30年在陶瓷材料、超精密加工、表面處理、傳感器等方面的技術(shù)能力,在氣路系統(tǒng)的組建、應(yīng)用和測試方面有豐富的經(jīng)驗,致力于成為世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體氣路解決方案提供商。
我們提供高純/特氣工程等綜合的氣路系統(tǒng)解決方案,包括氣源及供氣系統(tǒng)工程、切換裝置、管道系統(tǒng)、調(diào)壓裝置、用氣點、氣體泄露監(jiān)測報警系統(tǒng)等氣路一站式系統(tǒng)解決方案。
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