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陶瓷靶材

濺射靶材主要用于真空鍍膜設(shè)備中，通過物理氣相沉積（PVD）在基片上涂覆薄膜層，以增加新的功能或創(chuàng)建微小的連接，如薄膜晶體管（TFT）。用于制備濺射靶材的材料種類繁多，主要取決于最終的用途，因此既可以由純金屬制成，也可以由非常復(fù)雜的合金材料制成。我們可以為各行業(yè)客戶提供不同材料所制成的平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材，我們的制備技術(shù)先進(jìn)，保證產(chǎn)品達(dá)到最佳的使用性能。

先導(dǎo)電科產(chǎn)品手冊(cè)

濺射靶材產(chǎn)品列表

硫化鎘靶 (CdS)

應(yīng)用：薄膜太陽(yáng)能電池

元素符號(hào) : CdS
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 橘紅色
典型密度 : ≥4.35g/cm3
常規(guī)尺寸 : 150*150*10mm
其它尺寸可定制

碲化鎘靶 (CdTe)

應(yīng)用：薄膜太陽(yáng)能電池

元素符號(hào) : CdTe
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 棕黑色，黑色
典型密度 : ≥5.56g/cm3
常規(guī)尺寸 : 150*150*10mm
其它尺寸可定制

碲鋅鎘靶 (CdZnTe)

應(yīng)用：薄膜太陽(yáng)能電池

元素符號(hào) : CdZnTe
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉(zhuǎn)靶
外觀 : 黑色
常規(guī)尺寸 : 平面靶: 200*110*20mm
旋轉(zhuǎn)靶: L3000mm per set
其它尺寸可定制

銅銦鎵硒靶 (CIGS)

銅銦鎵硒靶材用于制造銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池，無(wú)需加入額外的硒源，通過真空濺射，直接形成P型CIGS膜層，應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池。

元素符號(hào) : CIGS
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉(zhuǎn)靶
外觀 : 黑色固體
典型密度 : 5.5g/cm3
常規(guī)尺寸 : 平面靶: Φ230mm
旋轉(zhuǎn)靶: 單節(jié)長(zhǎng)150mm
其它尺寸可定制

氧化銦鎵鋅靶 (IGZO)

氧化銦鎵鋅 (IGZO)是新型顯示技術(shù)的關(guān)鍵氧化物半導(dǎo)體材料。在TFT中，可取代Si材料作為溝道層材料。其優(yōu)異性能可使器件實(shí)現(xiàn)更高的分辨率、超低功耗和低噪聲，可用于制造新型高性能LCD和OLED顯示器。

元素符號(hào) : IGZO
成分 : In:Ga:Zn:O=1:1:1:4 (原子比)
其它成分可定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉(zhuǎn)靶
外觀 : 亮灰色
典型密度 : ≥6.30g/cm3
常規(guī)尺寸 : 平面靶: 單片靶材L300-1100mm
旋轉(zhuǎn)靶: 單節(jié)靶材L300-700mm
其他尺寸可定制

硫化銦靶 (In2S3)

硫化銦靶材是光電子和光伏行業(yè)的重要原材料之一，它可以作為CIGS薄膜太陽(yáng)能電池中硫化鎘的有效無(wú)毒替代品，應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池。

元素符號(hào) : In2S3
成分 : 可根據(jù)客戶要求定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 黑色，略泛紅
典型密度 : 4.6g/cm3
常規(guī)尺寸 : Φ230mm
其它尺寸可定制

硒化銦靶 (In2Se3)

硒化銦靶材因其不含重金屬鎘，是CIGS薄膜太陽(yáng)能電池中硫化鎘的潛在替代品，應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池。

元素符號(hào) : In2Se3
成分 : 可根據(jù)客戶要求定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 黑色
典型密度 : 5.7g/cm3
常規(guī)尺寸 : Φ230mm
其它尺寸可定制

氧化銦錫靶 (ITO)

氧化銦錫 (ITO) 是一種重要的透明導(dǎo)電氧化物(TCO)，具有良好的導(dǎo)電性和光學(xué)性能，可通過濺射或蒸發(fā)沉積薄的導(dǎo)電透明層，作為電極材料被廣泛應(yīng)用于TFT-LCD、LED、OLED、觸摸屏、智能玻璃、光伏等領(lǐng)域。

元素符號(hào) : ITO
成分 : In2O3/SnO2: 90/10wt%
其它成分可定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉(zhuǎn)靶
外觀 : 灰黑色
典型密度 : ≥7.13g/cm3
常規(guī)尺寸 : 平面靶: 單片靶材L300-1500mm
旋轉(zhuǎn)靶: 單節(jié)靶材L300-900mm
其他尺寸可定制

氧化鈮靶 (NbOx)

應(yīng)用：光學(xué)鍍膜、裝飾鍍膜玻璃、太陽(yáng)能電池等行業(yè)電極材料

元素符號(hào) : NbOx
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉(zhuǎn)靶
外觀 : 黑灰色
典型密度 : 4.9g/cm3
常規(guī)尺寸 : 平面靶: 300x300x10mm
旋轉(zhuǎn)靶: L4000mm
其它尺寸可定制

碲化鋅靶 (ZnTe)

應(yīng)用：薄膜太陽(yáng)能電池

元素符號(hào) : ZnTe
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉(zhuǎn)靶
外觀 : 黑色
典型密度 : ≥5.39g/cm3
常規(guī)尺寸 : 平面靶: 200*110*20mm
旋轉(zhuǎn)靶: L3000mm per set
其它尺寸可定制

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